PT-10SMT 石英射頻等離子清洗機-小型（xíng）真空等離子表麵處理機-深圳三和（hé）波達機電科（kē）技有限公司

PT-10SMT 石英射頻等離子清洗機

類別：小型真空等離子表麵處理機

簡介： 低溫活化表麵處理設備等離子去膠機（jī）晶圓等離子清洗裝置小型（xíng）等離子設備

全國谘詢服務熱線:0755-81478611

產品特點
應用領域（yù）

PT-10SMT
腔體材（cái）質：石（shí）英耐熱玻璃
供電電源（yuán）： AC220V
工作電流：整機工作電流（liú）不（bú）大於1.2A(不含真空（kōng）泵)
射頻電源功（gōng）率： 0-300W/0-600W可調（射頻匹配一體）
射頻頻率： 13.56MHz
頻率（lǜ）偏移（yí）量：小於0.2KHz
特性（xìng）阻抗： 50歐姆（mǔ），自動匹配
真空度： 10pa-300Pa
氣體路數：雙路氣體輸入（高（gāo）精密浮子流量計）
氣體流量： 10—160ml/min(可調（diào）)
過程控製： PLC人機界（jiè）麵自動與手動方式
清洗時間： 1-9999秒鍾可調
功率（lǜ）大小：10%-100可調
內腔尺寸：直徑200×深度320mm 10L
外形尺寸： 650×550×580mm L×W×H
真空泵：飛越真空泵VRD-8（含油霧過濾器）
真空室溫度：小於30°C

冷（lěng）卻方式：強製風冷

PT-10SMT 石英射頻等離子清洗機

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