PT-5SMT 石英射（shè）頻等離子清洗機-小型真空等離子表麵（miàn）處理機-深圳三和波達機電科技有限公司

等離子表麵處理機-小型等（děng）離子清洗機-等離子（zǐ）表麵處（chù）理機廠家

PT-5SMT 石英射頻等離子清洗機

類別：小型真空等離子表麵處理（lǐ）機

簡介： 國產等離子清洗機廠家三（sān）和波達等（děng）離子清洗裝（zhuāng）置小型的等離子清洗器

全國谘詢服務熱線:0755-81478611

產品特點
應用領（lǐng）域

PT-5SMT
腔體材質：石英耐（nài）熱玻璃
供電電源： AC220V
工作電流：整（zhěng）機工作電流（liú）不（bú）大（dà）於1.2A(不含（hán）真（zhēn）空泵（bèng）)
射頻電源功率： 0-200W / 0-300W可調（diào）（射頻匹配一體）
射頻頻率： 13.56MHz
頻率（lǜ）偏移（yí）量：小於0.2KHz
特性阻抗： 50歐姆，自動匹配
真空度： 1pa-30Pa
氣（qì）體路數：雙路氣體輸入（高（gāo）精密浮子流量計）
氣體流量： 10—160ml/min(可調)
過程（chéng）控（kòng）製： PLC人機界麵自動與手動方式
清洗時（shí）間： 1-9999秒鍾可調
功率大小 10%-100可調
內腔尺寸 Φ150×270Lmm 5L
外形尺寸： 560×540×550mm L×W×H
真空泵：飛越真空泵（bèng）VRD-4 （含油霧過濾器）
真空室溫度：小於30°C

冷卻方式：強（qiáng）製風冷

PT-5SMT 石英射頻等離子清洗機

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