型號：PT-15S
供電電源（yuán）： AC220V
工作電流（liú）： 整機工作電流不大於1.2A(不含真（zhēn）空泵)
射頻電源功率：0-300W/ 0-600W
射頻（pín）頻率： 40KHz（偏移量小於0.2KHz）
頻率偏移量： 小於0.2KHz
特性阻抗（kàng）： 50歐（ōu）姆（mǔ），自動匹（pǐ）配
真空度： 30Pa—100Pa
氣體流量： 10—160ml/min(可調)
過程控製： MCU自動與手動方（fāng）式
清洗時間： 1-99999秒鍾可調
功率大小： 10%-100%可調

內腔尺寸： 260mm×320mm×200mm

外形尺寸： PT-15S型_580×600×480
重量： 75Kg
真空泵： 飛越 VRD-8（含油霧過（guò）濾（lǜ）器）
真空室溫度（dù）： 小於（yú）65°C

冷卻方式： 強製冷風

【等離子清洗機應用（yòng）及原理】   

一、金屬表麵去油（yóu）及清潔 

      金屬表麵常常會有油脂、油汙（wū）等有機物（wù）及氧化層，在進行濺射、油（yóu）漆、粘合、健合、焊接（jiē）、銅焊和PVD、CVD塗覆前，需要用等離子處理來得到完全（quán）潔淨和無氧化層（céng）的表（biǎo）麵。 在這種情況下的等離子處理會產（chǎn）生以下（xià）效（xiào）果： 

  1.1灰化表麵有機層 

      －表麵會受到化（huà）學轟擊（氧 下圖）

 －在真空和瞬時高溫狀態下，汙染物部（bù）分蒸發 

－汙染物在高能量離子的衝（chōng）擊下被擊碎並被真（zhēn）空帶出 

－紫外輻射破壞汙染（rǎn）物 

   因為等（děng）離（lí）子處理每秒隻能穿透（tòu）幾個納（nà）米的厚度，所（suǒ）以汙染層不能太（tài）厚。指紋（wén）也適用。 

1.2氧化物去除 

金屬氧化（huà）物會與處理氣（qì）體發生化學反應（下圖）

 

這種處理要（yào）采用（yòng）氫氣或（huò）者氫氣與氬氣的混合物（wù）。有時也采用兩步處理工藝。第一步先用氧氣氧化表麵5分鍾，第二步用氫（qīng）氣和氬氣的混合物去除氧（yǎng）化層。也可以同時（shí）用幾種氣體進行處理。 

1.3焊接 

通常，印刷線路板在焊接前要用化學助焊劑處理。在焊接完成（chéng）後這些化學物質必須采用等離子方法去除，否則會帶來腐（fǔ）蝕等問題。

1.4鍵合（hé） 

好（hǎo）的鍵合常常被（bèi）電鍍、粘合、焊接操（cāo）作時的殘留物削弱，這些殘留物（wù）能（néng）夠通過等離子方法有選擇地去除。同時氧化層對鍵合的質量也是有害的，也需要進行等離子清潔。

二、等離子刻蝕 

在等離子刻（kè）蝕過程中，通過處理氣體（tǐ）的作用，被刻蝕物會變成氣相（例如在使用氟氣對矽刻蝕（shí）時，下圖）。處理氣體和基（jī）體物質被真空泵（bèng）抽出，表麵（miàn）連續被新鮮的處理氣體覆（fù）蓋。不希望被刻蝕（shí）部分要使用材料覆蓋起來（例如半導體行業用鉻做覆蓋材料）。 

 

等離子方法也（yě）用於刻蝕塑料表麵，通過氧氣（qì）可以灰（huī）化填充（chōng）混合物，同時（shí）得到分布分析情況。刻蝕方（fāng）法在塑料印刷和粘合時作為（wéi）預處理手（shǒu）段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等離子處理（lǐ）可以大大地增加粘合潤濕麵積。 

三、刻蝕（shí）和灰化 

PTFE刻蝕（shí） 

PTFE在未做處理的情況下不能印刷（shuā）或粘合。眾所周知，使用活躍的堿性金屬可以增（zēng）強粘合能（néng）力，但是這種方法不容易掌握，同（tóng）時溶（róng）液是有毒（dú）的。使用等離子方法不僅僅保護（hù）環境，還能達到更好效果。（下圖） 

        

等離子結構可以使（shǐ）表麵最大化，同時在（zài）表麵形成一個活性層，這樣塑料就能夠進行粘合、印刷操作。 

      

PTFE混（hún）合物的刻蝕 

PTFE混合物的刻蝕必須十（shí）分仔細地進行，以免（miǎn）填充物被過度暴露，從而削弱粘合力。

     

處理氣體可以是氧氣、氫（qīng）氣和氬氣。可以應用於PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。 

四（sì）、塑料、玻璃和陶瓷的表麵活化和清潔 

塑料、玻璃、陶瓷與聚丙烯、PTFE一樣是沒有極性的，因此這（zhè）些材料在印刷、粘合、塗覆前要進行處理。同時，玻璃和陶（táo）瓷表麵的輕微金屬汙染也可以用等離子方法清潔。等離子處理與灼燒處理相比不會損害樣品。同時還可以十（shí）分均勻地處（chù）理整個表麵，不會（huì）產生有毒煙氣，中空和帶縫隙的樣品（pǐn）也（yě）可以處理。 

·           不需要用溶劑進行預處理 

·           所有的塑料都能應用 

·           具有環保意義 

·           占用很小工作空間 

·           成本低廉 

等離子表（biǎo）麵（miàn）處理的效果可以簡（jiǎn）單地（dì）用水來驗證，處理過（guò）的樣（yàng）品表麵完全被水潤濕。長時間的等離子處理（大於15分鍾），材料表（biǎo）麵不但被活（huó）化還會被刻蝕，刻蝕表麵具有（yǒu）潤濕能力。常用的處理氣體（tǐ）為：空氣（qì）、氧氣、氬（yà）氣（qì）、氬氫混合氣體、CF₄等 

五、等離子塗（tú）鍍 

聚合 

            

在塗鍍中兩種氣體同時進入反應艙（cāng），氣體在（zài）等離子環境下匯聚合。這種應用比活化（huà）和清潔的要求要嚴格一些。典型的應用是保護層的形成，應（yīng）用於燃料容器、防刮表麵、類（lèi）似PTFE材質的塗鍍、防水塗鍍等。塗鍍層（céng）非常薄，通常為幾個微米，此時表麵的親和力非常好。 常用的（de）有3種情況 

·           防水塗鍍—環己物（wù） 

·           類似PTFE材質的塗鍍---含氟處理氣體 

·           親水塗鍍---乙烯醋酸 

小型（xíng）等離子清洗機具有成本低（dī）廉、操作靈活的特點， 與動（dòng）輒（zhé）十幾萬美元的大型產品相比小型等（děng）離子清潔小型機具有以下優點: 

1、可以更靈活地操作，簡便地改變處理氣體的種類和處理程序。 

2、不會對人員的身體造成任何傷害。 

3、其成本對於（yú）等離（lí）子處理方法來說是微不足道的。 

小型等離子設備廣泛應用（yòng）於等（děng）離子（zǐ）清洗和表（biǎo）麵改性等場合。通過其處理，能夠改善材料的潤濕能力，使多種材料（liào）能夠進行塗覆、鍍等操作，增強粘（zhān）合力、鍵合力，同時去除（chú）有機汙染物、油汙或油脂。 

其具體應用包括（kuò）： 

1、塑料、玻璃和陶瓷（cí）表麵活化 

玻璃、陶瓷和塑料（如聚丙烯（xī）、PTFE等）基本上是沒有極性（xìng）的，因此這些材料在進行粘合、油漆和塗覆之（zhī）前要進行表麵活化處理。 

2、金屬去（qù）油及清潔（jié） 

金屬表麵（miàn）常常（cháng）會有（yǒu）油脂、油汙等有機物及氧化層，在進行濺（jiàn）射（shè）、油漆（qī）、粘（zhān）合、健合、焊接、銅焊和（hé）PVD、CVD塗覆前，需要用等離子處（chù）理來得到完全潔淨和無氧化（huà）層的表麵。 

       焊接操作前：通常印刷線路板在焊接前要用（yòng）化學助焊劑（jì）處理。在焊接完成後這些化學物質必須采用等離子（zǐ）方法去除，否則會帶（dài）來腐蝕等問題。 

        鍵合操作前：好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時的（de）殘留物削弱，這些（xiē）殘留物能夠通過等離子方（fāng）法有選擇（zé）地去除。同時氧化層對（duì）鍵合的（de）質量也（yě）是有害的，也需要進行等離子清潔（jié）。

  特 點： 

·     操作簡便、成本（běn）低廉

·     高效真空電極 

·     氣體流量通過流量計和針閥實現精確控製  

·     功率可在200W以內（nèi）調節控製（完全能夠能（néng）夠滿足清潔需要，200W以上功率用於（yú）刻蝕） 

·     自動阻抗匹配 

·     自由設置參數：處理時（shí）間（jiān）、功率、氣體、壓力 

·     安全保護功能：真空觸發、艙門鎖（suǒ）

【等離子清（qīng）洗（xǐ）器應用方式】

 

1. 等離子清洗

    · 常規的清洗方法不能完全將材料表麵薄膜去除，而會留下一層很薄的雜質層，而（ér）且（qiě）溶劑清洗就是這類（lèi）典型（xíng）例子。

    · 等離子清洗器使用就是通（tōng）過等離子（zǐ）體對材（cái）料表（biǎo）麵的轟擊，輕柔地和（hé）完全地對表麵擦洗。

    ·等離子清洗將除去不可見的油膜、微小的鏽跡和（hé）其它由於用（yòng）戶接觸室外暴（bào）露等等在表麵形成的這類汙物，而且（qiě），等離（lí）子清洗（xǐ）不會在表麵留下殘餘物。

    · 等離子清洗器能夠處理多種類型材料：包括塑料、金屬、陶瓷以及幾何（hé）形（xíng）狀各異的表麵。

    ·  等離子清洗器的優點在（zài）於它不但能清洗掉表麵的汙物，而且還能增（zēng）強材料表麵的粘附性能。

 2. 聚合物清洗

  ①  聚合物的表麵清洗（xǐ）

    ·  等離子消融作用通過高能的電子和離子對材料表麵（miàn）的轟擊（jī），機械地去除汙物層。

    ·  等離子表（biǎo）麵清洗（xǐ）可去除可能存在於某些加工過的聚合物的汙物層，不（bú）需（xū）要的聚合物表麵塗層（céng）和弱的邊界層

  ②  聚合物的（de）表麵重組（zǔ）

    ·  等離子消（xiāo）融作用中使用的（de）惰性氣體破壞了聚合物表（biǎo）麵的化學鍵（jiàn）從而導致聚合物表麵自由官能團的形成。

    ·  聚合物（wù）表麵的自（zì）由官能團重新成（chéng）鍵形成原始的聚（jù）合物結（jié）構（gòu），也能與在相（xiàng）同（tóng）的聚合（hé）物鏈上鄰近（jìn）的自由官（guān）能團成鍵，或與在不同的聚合物（wù）鏈上附近的自由官能團成鏈。

    ·  聚合物表麵結構重組能夠改進表（biǎo）麵的硬度和（hé）化學抗性。

              ③  聚合物的（de）表麵改性

        ·  等離子消融作用破壞了聚合物表麵的化學鍵，從而導致聚合物表麵（miàn） 自由官能團的（de）形成。

        ·  基於等離子過程氣體的化學性質，這些表麵自由官（guān）能團與（yǔ）等離子中原（yuán）子或化學基（jī）的連接形（xíng）成了新的聚合物功（gōng）能組（zǔ），代替舊的表麵聚合物功能組。

        ·  聚合物表麵改性能夠改變材料表麵的（de）化學性質，而材（cái）料整體性質不會改變。

   ④ 聚合物的表麵鍍膜

  ·  等離子鍍膜是通過過（guò）程氣（qì）體的聚（jù）合作用在材料基層表（biǎo）麵形成一層薄的等離子塗層（céng）。

    ·  如果被使用（yòng）的生產氣體由複合分子組成，如：甲烷、四氟化物、碳，那麽他們在等離子態將破裂，形成自（zì）由的官能單（dān）體，這些官能單體將在聚合物表麵成鍵和重新化合在（zài）聚合物表麵鍍膜。

        ·  這種聚合物（wù）表麵塗層能明顯地改變表麵的滲（shèn）透性和磨（mó）擦性。

    ⒊  生物材料

      ①. 消毒（dú）、殺菌：

        ·  等離子消毒處理（lǐ）在醫療設備的消毒殺菌上得（dé）到了許多認可。

        ·  等離子處（chù）理在醫療器具的（de）同步清洗和消毒上有（yǒu）很（hěn）大潛力。

        ·  等離子消毒殺菌特別適用於對高溫、化（huà）學物質、照射、過敏的醫學器具或牙科移植（zhí）物及設備（bèi）的清洗（xǐ）。

      ②. 粘附力（lì）的提高（gāo）

        ·  很多生物材料的介質表麵（miàn）能量很（hěn）低，使它（tā）很難有效地（dì）進行粘附和塗層。

        ·  等離子表麵活化導致表（biǎo）麵（miàn）功能組的形成，這些功（gōng）能組將加強生物材（cái）料表麵（miàn）能量和（hé）改善界（jiè）麵的（de）粘附力。

      ③. 浸潤性

        ·  大多數未處理的生物材料具有很弱的濕（shī）潤性 (親水性) 。

        ·  等離子（zǐ）表麵處理可以增加或（huò）減（jiǎn）少多種不同的生物材料的親水性。

        ·  通過等離子活化可使表麵親水，通過等離子鍍膜，可使表麵憎水。

      ④. 低摩擦力和阻礙層

        ·  一些材料對酯和聚合物（wù）表麵的磨擦係數很高，如聚氨基甲酸酯。

        ·  等離子塗層具（jù）有很小的（de）摩擦係數，使生物材料（liào）表麵變得更光滑。

        ·  等離子塗層（céng）也能形成一個較密的阻（zǔ）礙層，來減少液（yè）體或氣體對生物材（cái）料的滲透性。

 低溫等離子表麵處理技術在許多工藝前進行，且能達到事半功倍的效果，這其中（zhōng）應用較多的工藝（yì）有：粘接預處理、印刷預處理、綁定預處理、焊接預處（chù）理、封裝預處理等。根據本身的特性又較多的應用於：清（qīng）洗肉眼看不的灰塵，殘膠（jiāo），氧（yǎng）化（huà）物，積碳等等，使材料表麵粗化（huà），激（jī）活，親水性增強等。

電子行業

Led支架、晶圓、IC等的（de）清潔和焊接性增強處理；電子元器件的綁定性增強，PCB和陶瓷（cí）基板的激活處理等。

包裝行業

PET、PP、OPP、UV、紙盒或果醬瓶粘膠前的表麵處理，大大降（jiàng）低膠（jiāo）水的使用成（chéng）本。

印刷行業

金屬、玻璃、橡膠、塑料、複合材料等表麵絲印（yìn）、移印前等離子處理，可大大提（tí）高（gāo）油墨的附著力。
標簽、果醬瓶、金屬容器（qì）、電纜光纖（xiān）噴碼前等離子預處理增加其綁定性。

汽車行業

車燈粘接,鍍鋁,注塑,預處理;刹（shā）車片、點火線圈、引擎控製蓋、保險杠等可經過等離子清洗技術得到（dào）清洗和
激活,使其綁定（dìng）性更加牢靠。
車身及零部件的噴漆，鍍膜預（yù）處理等

塑料（liào）行業

塑料與橡膠、金屬、玻（bō）璃等的粘接預處理，經過等離子清洗可大大提高表麵活性。
玩具，手機殼（ké），電腦殼，文具殼等噴漆前預處理，可提高油墨（mò）的附著性。

其他行業

手機，生物，航空，軍事，醫學，器械，電鍍，微電（diàn）子（zǐ）等等

真空等離子清洗機:

一、清洗對象經等離（lí）子清洗之後是幹燥的，不需（xū）要再（zài）經幹燥處理即可送往下一道（dào）工序。可以提高整個工藝流水線的處理效率；

二、等離子（zǐ）清洗使得（dé）用戶可（kě）以遠離有害溶劑對（duì）人體的傷害（hài），同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題； 三、避（bì）免使用（yòng）三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗後不會產生有害汙（wū）染物，因此這（zhè）種清洗方（fāng）法屬於環保的綠色清洗方法。這在全球高度關（guān）注（zhù）環保的情況（kuàng）下越發顯出它的重要（yào）性；
四、采用無線電波（bō）範（fàn）圍的高頻產生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強，這（zhè）使得它可（kě）以（yǐ）深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部完成清（qīng）洗（xǐ）任務，因此不需要過多考慮被清（qīng）洗物體的形狀。而且對這些難清洗（xǐ）部位的（de）清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
五、使用等離子清洗（xǐ），可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個清洗工（gōng）藝流程幾分鍾內即可完成，因此具有產率（lǜ）高的特點；
六、等離子（zǐ）清洗需要控製的真空度約為100Pa，這種清洗條（tiáo）件（jiàn）很容易達到。因此這種裝置的設備成（chéng）本不高，加（jiā）上清洗過程不需要使用（yòng）價格較為昂（áng）貴的有（yǒu）機溶劑，這使得整體成本要低於傳統的濕（shī）法清洗工藝；
七、使用等離（lí）子（zǐ）清洗，避免了對清洗液的（de）運輸、存儲、排放等處理措施，所以生產場地很（hěn）容易保持清潔衛生；
八、等（děng）離子體清洗可以不（bú）分處（chù）理對象（xiàng），它可以處理各種各樣的材質，無論是金屬、半導體、氧（yǎng）化物，還是高（gāo）分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚（jù）酰亞胺、聚酯、環氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體來處理。因此特別適（shì）合於不耐熱以及不耐（nài）溶劑的材質。而且還可（kě）以有選擇地對材（cái）料的整（zhěng）體、局部或複（fù）雜結構進行部分清洗；
九、在完成清洗去汙的同時，還可以改善（shàn）材料本（běn）身（shēn）的表麵性能。如提高表麵的潤濕性能、改（gǎi）善（shàn）膜的黏著（zhe）力等，這在許多應用中都是非常重要的