大氣壓等離子清（qīng）洗機係統由三大主要部分組成：

1、主（zhǔ）機（jī）連接電（diàn）源（yuán）連接冷卻的（de）處理氣體高射頻電壓（yā）等離子源控製模塊氣體控製模塊前麵板的操作控製係統。

2、傳輸氣（qì）體和能量的柔性導管。

3、等離子噴頭：由中間電極、外部電極和絕緣區域（yù）組成。 

●  高壓射頻發生器將常電壓轉變成（chéng）高電（diàn）壓（超過10KV），這對（duì）於形成高壓放電是（shì）必須的。

●  高電壓和冷卻的處理（lǐ）氣體是通過柔性導管（guǎn）傳輸到放電（diàn）區（qū）域（yù）的（de）。 

●  氣流中的活性元素(i+, e-, r *)會在（zài）放（fàng）電（diàn）區域內產生電弧。 

●  活性氣流在經過特殊的噴頭口時被（bèi）聚（jù）焦在樣品表麵上達到處理的效果（guǒ）。 

●  等離子噴槍（動態旋轉型）；最大轉速：3000轉/分；處（chù）理寬度：3-60mm采（cǎi）用進口一體特殊陶（táo）瓷絕緣，永（yǒng）久不擊穿；等（děng）離子（zǐ）噴嘴及放電電極采（cǎi）用進口合金材料，耐高溫、抗氧化、長壽命。

●  發生器電源控製係統 大氣等離子清洗機>> 刹車片大氣（qì）等離子清（qīng）洗機

電漿等離子清洗機頻率 16-20KHZ雙脈衝（chōng）二次逆變，功率（lǜ） 0-1KW單獨調節，全電路（lù）保護（hù），180-250V寬範圍穩壓，輸出功率可連（lián）續調節、預置（zhì）。LCD電壓、電流顯示，具有工作狀態麵板指示機能，及自動報（bào）警與提示。

常（cháng）壓賣（mài）點：

●  功率0-1000W連續可調

●  氣壓0-1.0Mpa連續可調

●  處理範圍多種規格（gé）可選

●  工作範圍預設，參數實時調節（jiē）。

●  實（shí）時顯示工作狀態

●  故障時顯示出報警原因

●  完（wán）美配合自動化（huà）設備同步工作

【等離子（zǐ）清洗機（jī）應用及原理】   

一、金（jīn）屬表麵去油及清潔 

      金屬（shǔ）表麵常常（cháng）會有油脂、油汙等有機物及氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、健（jiàn）合、焊接（jiē）、銅（tóng）焊和PVD、CVD塗覆前，需要用等（děng）離子處理來得到完全潔淨和無氧化（huà）層的表（biǎo）麵。 在這種情況下的等離子處理會產生以下效果： 

  1.1灰化表麵有機層 

      －表麵會受（shòu）到化學轟擊（氧 下圖）

 －在真空和（hé）瞬時高溫狀態下（xià），汙染物部分蒸發 

－汙染物在高能量離子的衝擊（jī）下被擊碎並被真空帶出 

－紫（zǐ）外輻射破壞汙染物 

   因為等離子處理每秒隻能穿（chuān）透幾個納米的厚度，所以汙染層不能太厚。指紋也適用。 

1.2氧化物去（qù）除 

金屬氧化物會與處理氣體發生（shēng）化學反應（下圖）

這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合（hé）物。有時也（yě）采用兩步（bù）處理工藝。第一步先用（yòng）氧氣氧化表麵5分鍾，第二步用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層。也可以同時用幾種氣體進行處理。 

1.3焊接 

通常，印（yìn）刷線路板在焊接前要用化（huà）學（xué）助焊（hàn）劑處理。在焊接完成（chéng）後這（zhè）些化學物質必須（xū）采用等離子方法去除，否則會帶來腐蝕等問題。

1.4鍵合 

好的鍵（jiàn）合常常被（bèi）電鍍、粘合（hé）、焊接操作時的殘留（liú）物削弱，這些殘留物（wù）能夠通過（guò）等離子方法（fǎ）有（yǒu）選擇地去除。同時氧化層對鍵合的質量也是有害的，也需要進行（háng）等離子清潔。

二、等（děng）離子刻蝕 

在等離子（zǐ）刻蝕過程中，通過處理氣體的作用，被刻蝕物會變成氣相（例如在使用氟氣對矽刻蝕時，下圖）。處（chù）理氣體和基體物質被真空泵抽出，表（biǎo）麵連（lián）續被新鮮的（de）處理氣體覆（fù）蓋。不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來（例如半導（dǎo）體行業用鉻做覆蓋材料）。 

等離子方法也用於刻（kè）蝕塑料表麵，通（tōng）過氧氣可（kě）以灰化填充混合物，同（tóng）時得到分布分析情況。刻蝕方法（fǎ）在塑料印刷和粘合時作（zuò）為預處理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等離子（zǐ）處理可以大大地增加粘合潤濕麵積。 

三、刻蝕和灰化 

PTFE刻蝕 

PTFE在未（wèi）做處理的情況下不能印刷或粘合。眾（zhòng）所周知，使用活躍的（de）堿性金屬可以增強粘合能（néng）力，但是這（zhè）種方（fāng）法不容（róng）易（yì）掌握，同時溶液是有毒的。使用等離子方法不僅僅保護（hù）環境，還能達到更好效果。（下圖） 

等離子結構可以使表（biǎo）麵最大化，同時在表麵形成一個活性層，這樣塑料就能夠進行粘合、印刷操（cāo）作。 

PTFE混合物的（de）刻蝕 

PTFE混合物的刻蝕必須十分仔細地進行，以免填充物被過度暴露，從而削弱粘合力（lì）。

處理氣體可以是氧氣、氫氣（qì）和氬氣。可以應用於PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。 

四、塑料、玻（bō）璃和陶瓷（cí）的表麵活（huó）化和清潔 

塑料、玻璃、陶瓷與（yǔ）聚丙烯、PTFE一（yī）樣是沒有極性的，因此（cǐ）這些材料在印刷、粘合、塗覆前要進行處理。同時，玻璃和陶瓷表麵的輕微金屬汙染也可以用等離子方法清潔。等離子處理與灼燒（shāo）處理相比（bǐ）不會損害樣品。同時還可以十分（fèn）均勻（yún）地處理整個（gè）表麵，不會產生有毒煙氣，中空和帶縫隙的樣品也（yě）可以處理。 

·           不需要用溶劑（jì）進行預處理 

·           所有的塑（sù）料都能應用 

·           具有環保意義 

·           占用很小工（gōng）作空間 

·           成本低廉 

等離子表麵處理的效果可以簡單地用水來（lái）驗證，處理過的樣品表（biǎo）麵完（wán）全被（bèi）水潤濕。長時間的等離子（zǐ）處理（大於15分（fèn）鍾），材料（liào）表麵（miàn）不但被活化還會被刻蝕，刻蝕表麵具有潤濕能力。常用的處理氣體為：空氣、氧（yǎng）氣（qì）、氬氣、氬氫混合氣體、CF₄等 

五、等離子塗鍍 

聚合 

在塗鍍中兩種氣體同時進入（rù）反應艙，氣體（tǐ）在等（děng）離子環境下匯聚合。這種應用比活化和清潔的要求要嚴格一些。典型的應用是保護層的形成，應用於燃料容器、防刮表麵、類似PTFE材（cái）質的塗鍍、防水塗（tú）鍍等。塗（tú）鍍層非常薄，通常為幾個（gè）微米（mǐ），此時表麵的親和力非常好。 常用（yòng）的（de）有3種情（qíng）況 

·           防水塗鍍—環己（jǐ）物 

·           類似PTFE材質的塗鍍---含氟處理氣體 

·           親水（shuǐ）塗鍍---乙烯醋酸 

小型等離子清洗機（jī）具有成本低廉（lián）、操作靈活的特點， 與動輒十幾萬美元的（de）大型產（chǎn）品相比小型等離子清潔小型機具有以下優點: 

1、可（kě）以更靈活地操作（zuò），簡便地改變處理氣體的種類和處理程序。 

2、不會對人員的（de）身體造成任何傷害。 

3、其成（chéng）本對於等（děng）離子處理方法來說是微不足道的。 

小型等離子設備廣泛應用（yòng）於（yú）等離子清洗和表麵改性等場合。通過其處理，能夠改善材料的（de）潤濕能力（lì），使多種材料能夠進行（háng）塗（tú）覆、鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機汙（wū）染物、油汙或油脂。 

其具體應（yīng）用包（bāo）括： 

1、塑（sù）料、玻璃和陶瓷表（biǎo）麵活化 

玻璃、陶瓷和塑（sù）料（如聚丙烯、PTFE等）基本上是沒（méi）有（yǒu）極性的，因此這些材料在進行粘合、油漆（qī）和塗（tú）覆之前要進行表麵活化處（chù）理。 

2、金屬去油（yóu）及清潔 

金（jīn）屬表麵常常會有油脂、油汙等有機物及氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊（hàn）和PVD、CVD塗覆前，需要用等離子處理來得到完全潔淨和無氧化層的表麵。 

       焊接操作前（qián）：通常印刷線路板在焊接前要（yào）用（yòng）化學助焊劑處理。在焊接完（wán）成後這些（xiē）化學物質（zhì）必須采用等（děng）離子方法（fǎ）去除，否（fǒu）則會（huì）帶來腐蝕等問題。 

        鍵（jiàn）合操作前：好（hǎo）的鍵合常常（cháng）被電鍍（dù）、粘合、焊（hàn）接操作時的殘（cán）留物削弱，這些殘留物能夠通過等離子方（fāng）法有選擇地去除（chú）。同時氧化層對鍵合的質量也是有害的，也需要進（jìn）行等離子清潔。

  特 點： 

·     操作簡（jiǎn）便（biàn）、成本低廉

·     高效真空（kōng）電極 

·     氣體流量通過流量計和針（zhēn）閥實（shí）現精（jīng）確控製  

·     功率可在200W以內調節控製（完全能夠能夠滿足清潔需要，200W以上功率用於刻蝕） 

·     自動阻抗匹配 

·     自由設置參數：處理時間、功率（lǜ）、氣體、壓力 

·     安全保護功能：真（zhēn）空觸發、艙門鎖

【等離（lí）子（zǐ）清洗器應用方式】

1. 等離子清（qīng）洗

    · 常規的清洗（xǐ）方法不能完全將材料表麵薄膜去除，而會留下（xià）一層很薄的（de）雜質層，而且溶劑清洗就是這（zhè）類典型例子。

    · 等離子清洗器使用就是通過等（děng）離子體對材料表麵的轟擊（jī），輕柔地和完全地對表麵擦洗。

    ·等離（lí）子（zǐ）清洗將除（chú）去不可見的油膜、微（wēi）小的鏽跡和其（qí）它由於用戶接觸室外暴露等等在表麵形成的這類汙物，而且，等離子清洗不會在（zài）表（biǎo）麵留下殘餘物。

    · 等離子清洗器能夠（gòu）處理多種類型材料：包括塑料、金屬、陶瓷以及幾何形（xíng）狀各異的表（biǎo）麵。

    ·  等離子清洗器（qì）的優點（diǎn）在於它不但能清洗（xǐ）掉表麵的汙物，而（ér）且還能增強材（cái）料表麵的粘附性能。

 2. 聚合（hé）物清洗

  ①  聚合物的（de）表麵清洗

    ·  等離子消融作用通過高能的電子和離子對材料表麵的轟擊，機械（xiè）地（dì）去除汙物層。

    ·  等離子表麵清洗可去除可能存在於某些加（jiā）工過的聚合物的汙物層，不需要的（de）聚合物表麵塗層和弱的邊界層

  ②  聚合物的表麵重組

    ·  等離子消融作用中使用的惰性（xìng）氣體破壞了聚（jù）合物表（biǎo）麵的化學鍵從（cóng）而導致聚合物表麵自由官能團的形成（chéng）。

    ·  聚合物表麵的自由官能團重新成鍵形成原始的聚合物結（jié）構，也能與在相同的聚合物鏈上（shàng）鄰近（jìn）的自由官能團成（chéng）鍵，或與在不同的聚合物鏈上附近的自由官能團（tuán）成鏈。

    ·  聚合物表麵結構重組（zǔ）能夠改進表麵的（de）硬度和化學抗性。

              ③  聚合物的表麵改性

        ·  等離子（zǐ）消融作用破壞了聚合物表麵的化學鍵，從而導致聚合物表麵 自由官（guān）能團的形成。

        ·  基於等離子過程氣體的化學性質，這些表麵自由官能團與等離子中（zhōng）原子或化（huà）學基（jī）的（de）連接形成（chéng）了新的聚合物功（gōng）能組（zǔ），代替舊的表麵聚合（hé）物功能組。

        ·  聚合物表（biǎo）麵改性能夠改變材料表麵的化學性質，而材（cái）料整體性質不會改（gǎi）變。

   ④ 聚合物的表麵鍍膜

  ·  等離子鍍膜是通過過程氣體的聚合作用在（zài）材料基層表麵形成一（yī）層薄的等（děng）離（lí）子塗層。

    ·  如果被使用的（de）生產氣體由複合分子組成，如：甲（jiǎ）烷、四氟化物（wù）、碳，那麽他們在等離子（zǐ）態將破裂，形成自由的官能單體，這些官能單（dān）體將在聚合物表（biǎo）麵成鍵和重新化合在聚合物表麵（miàn）鍍膜（mó）。

        ·  這種（zhǒng）聚合物表麵塗層（céng）能明（míng）顯（xiǎn）地改變表麵的滲（shèn）透性和磨擦性。

    ⒊  生物材料

      ①. 消毒（dú）、殺菌（jun1）：

        ·  等離子消毒處理在醫療設（shè）備的消毒殺菌上（shàng）得到了許多認可。

        ·  等離子處理在醫療器具的同步清洗和消（xiāo）毒上有（yǒu）很大潛力。

        ·  等離子消毒殺菌特別（bié）適用（yòng）於對（duì）高溫、化學物質、照射（shè）、過敏的醫學器（qì）具或牙科移植物及設（shè）備的清洗（xǐ）。

      ②. 粘附力的提高

        ·  很多生物材料的介質表麵（miàn）能量很低，使它很（hěn）難有（yǒu）效地進行粘附和塗層。

        ·  等（děng）離子表麵活化導（dǎo）致表麵功能組的形成，這（zhè）些功能組將加強生物（wù）材料表麵能量和改善界麵（miàn）的粘附力。

      ③. 浸潤性

        ·  大多數未處理的生（shēng）物材料具有很弱的濕潤性 (親水性) 。

        ·  等離子表麵處理可以增加或減少多種不同的生物材料的親水性。

        ·  通過等離（lí）子活化可使表麵親水，通過（guò）等離子鍍膜，可使表麵（miàn）憎水。

      ④. 低摩擦力和阻礙層

        ·  一些材料對酯和聚合物表麵的磨擦係數很（hěn）高，如聚氨基甲酸酯。

        ·  等離子塗層具有很小的摩擦係數，使（shǐ）生物材料表麵變得更（gèng）光滑。

        ·  等離（lí）子（zǐ）塗層也能形成一個較密的阻礙層，來減少液（yè）體或氣體對生物材（cái）料（liào）的滲（shèn）透（tòu）性。

●  表麵活（huó）化/清洗；     ●  等離子處理後粘合；     ●  等離子蝕刻/活化；     ●  等（děng）離子（zǐ）去膠；

●  等離子塗鍍(親水,疏水)；     ●  增強邦定性。