在真空腔體裏，通（tōng）過射頻電源在一定的壓力情況下起（qǐ）輝（huī）產生高能量的無序（xù）的等離（lí）子體，通過等離（lí）子體轟擊被清洗（xǐ）產品表麵。以達到清（qīng）洗目的。

　   等離子清（qīng）洗機清洗原理：

　　1.激活鍵能，交聯作用

　　等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分（fèn）的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表麵後，可以將固體表麵的原有的化學鍵產生斷裂，等離子體中（zhōng）的自由（yóu）基與這些鍵形成網狀的交聯結構，大大地激活了表麵（miàn）活性。

　　2.對材（cái）料表麵的刻蝕作用--物理作用

　　 等離子清（qīng）洗機中的大量離子、激發態分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表麵，不但清除了表麵原有的汙染物和雜質，而（ér）且會產生刻蝕作用，將樣品表麵變粗糙，形成許多微細坑窪，增（zēng）大了樣品的比表麵。提高固體表麵（miàn）的潤濕性能。

　　3.形成新的官能團--化學作用

如果放電（diàn）氣體中引入反應性氣體，那麽（me）在（zài）活化的材料表麵會（huì）發生複雜的化學反應，引入新（xīn）的官能團，如烴基（jī）、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基（jī）團，能（néng）明顯（xiǎn）提高材料表麵（miàn）活（huó）性。

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