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類別:超聲波幹式除(chú)塵設備USC
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除塵頭裏有一個超聲波發(fā)生腔和倆個真空吸附(fù)腔。塵粒(lì)在吸附層(céng)作用下粘附於玻璃基板表麵,要(yào)想去(qù)除塵粒,必須克服塵粒的粘附力。
通過鼓風機,給除(chú)塵頭的超聲波發生腔提供8-16Kpa的潔淨氣體,氣體通(tōng)過(guò)超聲波發生器產生超聲波,利用超聲波(bō)傳播的能量及振動,使塵粒克服玻璃基(jī)板表麵的粘附力,以拉升(shēng)、滾動及滑動三種運動(dòng)方式(單(dān)一或(huò)混合)從玻璃基板表麵脫離,使得塵粒從玻璃基板表麵分(fèn)離(lí)出來。
除塵頭(tóu)的真空腔是用來吸附塵(chén)粒。當塵粒從玻璃(lí)基板(bǎn)表麵分離出來後,利用超聲波(bō)的反射將的塵粒帶動起來,運動的塵粒瞬(shùn)間(jiān)被清洗頭的真空吸附腔吸走,從而達到(dào)清洗玻(bō)璃表麵塵粒的效果。
主要技術參數 |
|
有效清洗長度 |
0-700mm |
工(gōng)作風壓 |
8-16KPa |
除塵頭到工件的距離 |
5mm以內,1.5mm最佳(jiā) |
除(chú)塵頭到機箱的管長度 |
10米以內(nèi) |
清潔效(xiào)率 |
3um塵粒 97%的清除率,6um塵粒 98%清除率 |
吐出風溫度 |
小於45℃ |
噪音 |
小於80分貝 |
工作電壓 |
3 相 380V 50/60Hz(可選配三相220V) |
設備功(gōng)能 |
高低頻(pín)瞬時啟動,溫度監控反饋,風壓監控(kòng)反饋,頻率監(jiān)控(kòng),PLC控製,參數觸摸屏(píng)設定,可實現MES連接 |
測試條件(jiàn) 與 驗收方法(fǎ) |
測試條件:在100級潔淨室內完成,工作(zuò)高度1.5mm,工作氣壓14KPa,清(qīng)洗速度 80mm/s,3um間隔粉。 |
驗收方法(fǎ):在(zài)潔(jié)淨的清洗玻璃上噴撒間隔粉,目視(shì)區域120-150粒,200倍顯微(wēi)鏡檢測,清除率(lǜ)達97%以(yǐ)上。 |
工作間距:1.5mm.(出風全部被吸回無(wú)泄漏的條件下,正壓為在除塵頭入口端口測量的內部壓力)
型號 |
有效 寬幅 |
對應(yīng)機台使用功率 |
P (出(chū)風口) |
V (吸風口) |
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壓力(KPa) |
流量(L/min) |
壓力(lì)(KPa) |
流量(L/min) |
|||
USC-PT-100 |
100mm |
1.5KW |
8 |
800 |
-2 |
900 |
12 |
1000 |
-3 |
1100 |
|||
16 |
2000 |
-3 |
2500 |
|||
USC-PT-200 |
200mm |
1.5KW |
8 |
1500 |
-2 |
2000 |
12 |
2000 |
-3 |
2500 |
|||
16 |
2500 |
-3 |
3000 |
|||
USC-PT-300
|
300mm |
3.0KW |
8 |
2500 |
-2 |
3000 |
12 |
3000 |
-3 |
3500 |
|||
16 |
3500 |
-3 |
4000 |
|||
USC-PT-400
|
400mm |
5.5KW |
8 |
3200 |
-2 |
3500 |
12 |
3600 |
-3 |
4000 |
|||
16 |
4000 |
-3 |
4300 |
|||
USC-PT-700 |
700mm |
5.5KW |
8 |
5600 |
-2 |
6000 |
12 |
6000 |
-3 |
6300 |
|||
16 |
6500 |
-3 |
6800 |